Componente si sisteme micromecanice fabricate prin tehnologia LIGA
37 RON
Stoc limitatAutor: Cristinel Ioan Ilie | Marius Popa | Nicolae Tanase
Editura: Electra
Format: 14,5x20,5 cm
Nr. pagini: 166 color
Coperta: brosata
ISBN: 978-606-507-127-8
Anul aparitiei: 2020
Descriere
CUPRINS
Prefata V
1. Introducere 13
2. Stadiul actual al microfabricatiei sistemelor microelectromecanice 19
3. Rezultate experimentale 85
4. Sisteme microelectromecanice realizate. Reductor planetar cu roti dintate cu profil cicloidal 113
5. Concluzii generale 135
Bibliografie 141
Anexa 147
Anexa I. Fotorezistul SU-8 149
